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微細加工技術 応用編 フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用 (ポリマーフロンティア21シリーズ) 単行本 – 2003/7/1


商品の説明

内容(「MARC」データベースより)

2003年3月開催の「ポリマーフロンティア21 微細加工技術(応用編)」を講演録として編集。SPMを利用したナノスケールでの加工、高分子材料の微細加工技術と光導波路への適用など6講演を収録。

登録情報

  • 出版社 ‏ : ‎ エヌ・ティー・エス (2003/7/1)
  • 発売日 ‏ : ‎ 2003/7/1
  • 言語 ‏ : ‎ 日本語
  • 単行本 ‏ : ‎ 208ページ
  • ISBN-10 ‏ : ‎ 4860430263
  • ISBN-13 ‏ : ‎ 978-4860430269

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