表面分析(分析化学実技シリーズ 応用分析編1)
石田 英之 著
著者紹介
内容
目次
1 表面分析序論(表面分析の目的・背景 表面分析の手法 ほか) 2 赤外・ラマン分光法(赤外分光法を用いた表面分析方法の原理と特徴 ラマン分光法を用いた表面分析方法の原理と特徴 ほか) 3 X線光電子分光法(XPS、ESCA)(XPSの原理と特徴 XPS装置 ほか) 4 二次イオン質量分析法(SIMS)(SIMSの原理と特徴 SIMSの装置 ほか) 5 番行時間型二次イオン質量分析法(TOF‐SIMS Static SIMS)(TOF‐SIMSの原理と特徴 TOF‐SIMSの装置 ほか) 付録 主な元素の化学シフト
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