目次
第１章 序論（マイクロプラズマの定義とその特徴；マイクロプラズマの生成 ほか）
第２章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象（高密度媒質による特徴；微小性による特徴 ほか）
第３章 マイクロプラズマの生成（気体を用いたマイクロ放電によるプラズマ生成技術；液体や固体が関わるマイクロ放電によるプラズマ生成技術 ほか）
第４章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション（プラズマメータの計測；気相・表面近傍での反応活性種の計測 ほか）
第５章 マイクロプラズマの応用（材料プロセス応用；微量化学分析・センサへの応用 ほか）
著者等紹介
橘邦英［タチバナクニヒデ］
１９７３年京都大学大学院工学研究科博士課程修了。１９７４年工学博士。現在、京都大学大学院工学研究科電子工学専攻教授
石井彰三［イシイショウゾウ］
１９７３年東京工業大学大学院理工学研究科博士課程修了。１９７３年工学博士。現在、東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻教授
寺嶋和夫［テラシマカズオ］
１９８４年東京大学大学院工学系研究科修士課程修了。１９８８年工学博士。現在、東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系専攻准教授
白藤立［シラフジタツル］
１９９１年京都大学大学院工学研究科博士後期課程中途退学。１９９８年博士（工学）。現在、京都大学産官学連携センター知的財産室准教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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