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超微細加工技術

応用物理学会編 ; 徳山巍編著. -- オーム社, 1997.2. -- (応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース). <BW00065767>
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応用物理学会編 ; 徳山巍編著. -- オーム社, 1997.2. -- (応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース). <BW00065767>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 624.9:642 0002047918 0件
0002 三田４Ｆ集密図書 624.9:642 0028356939 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 624.9:642
資料ID 0002047918
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
配架場所 三田４Ｆ集密図書
請求記号 624.9:642
資料ID 0028356939
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超微細加工技術 / 応用物理学会編 ; 徳山巍編著
チョウビサイ カコウ ギジュツ
出版事項 東京 : オーム社 , 1997.2
形態 xiv,309p ; 22cm
シリーズ名等 応用物理学シリーズ / 応用物理学会編||オウヨウ ブツリガク シリーズ <BW02006088> 専門コース||センモン コース//a
巻号情報
ISBN 427402332X
注記 参考文献: 各章末
注記 索引: p[305]-309
注記 執筆: 徳山巍ほか
NCID BN15970232
本文言語 日本語
著者標目 応用物理学会||オウヨウ ブツリ ガッカイ <AU00019728>
著者標目 徳山, 巍(1929-)||トクヤマ, タカシ <AU00019808>
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
分類標目 窯業．珪酸塩化学工業 NDC8:573.5
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:PA241
件名標目等 ガラス||ガラス
件名標目等 ガラス製品||ガラスセイヒン
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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