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ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著. -- 培風館, 1995.12. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15). <BW00375627>
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ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著. -- 培風館, 1995.12. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15). <BW00375627>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ集密図書 624.9:495:1-15 0025174939 0件
0002 三田４Ｆ集密図書 624.9:495:1-15 0029536158 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ集密図書
請求記号 624.9:495:1-15
資料ID 0025174939
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
配架場所 三田４Ｆ集密図書
請求記号 624.9:495:1-15
資料ID 0029536158
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
出版事項 東京 : 培風館 , 1995.12
形態 xi, 366p ; 22cm
シリーズ名等 アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <BW02010038> カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ・ ブッセイ ・ デバイス ; 15//aa
巻号情報
ISBN 4563036153
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術
ウルトラ クリーン ULSI ギジュツ
注記 参考文献: 各章末
NCID BN13643698
本文言語 日本語
著者標目 大見, 忠弘(1939-)||オオミ, タダヒロ <AU00278326>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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