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真空蒸着

ジ-クフリ-ト・シラ-, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳. -- アグネ, 1977.5. <BW00020658>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田4F集密図書 624.9:138 0000650077 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田4F集密図書
請求記号 624.9:138
資料ID 0000650077
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 真空蒸着 / ジ-クフリ-ト・シラ-, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳
シンクウ ジョウチャク
出版事項 東京 : アグネ , 1977.5
形態 144p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4750704091
その他の標題 原タイトル:Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen
注記 文献:p139〜144
NCID BN02783006
本文言語 日本語
著者標目 Schiller, Siegfried, 1933- <AU00073996>
著者標目 Heisig, Ullrich, 1933- <AU00073998>
著者標目 日本真空技術株式会社||ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ <AU00073999>
分類標目 NDC6:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND351
件名標目等 薄膜