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微細加工とレジスト

野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987.11. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BW00180918>
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野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987.11. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BW00180918>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 678:K75o:3 0097083950 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 678:K75o:3
資料ID 0097083950
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
出版事項 東京 : 共立出版 , 1987.11
形態 iv, 99p ; 19cm
シリーズ名等 高分子新素材one point / 高分子学会編||コウブンシ シンソザイ one point <BW02003863> 3//b
巻号情報
ISBN 4320042271
NCID BN01734322
本文言語 日本語
著者標目 野々垣, 三郎||ノノガキ, サブロウ <AU00331043>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク
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