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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2019.4. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 686 . 新材料・新素材シリーズ). <BW04006129>
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2019.4. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 686 . 新材料・新素材シリーズ). <BW04006129>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 624.9:2015 0074851866 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 624.9:2015
資料ID 0074851866
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 / 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS NEMS センサ CMOSLSI ノ ユウゴウ
版次 普及版
出版事項 東京 : シーエムシー出版 , 2019.4
形態 ix, 279p : 挿図 ; 26cm
シリーズ名等 CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BW03006314> 686 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ//aa
巻号情報
ISBN 9784781313641
その他の標題 標題紙タイトル:Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
その他の標題 異なりアクセスタイトル:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : メムス ネムス センサ シーモス エルエスアイ ノ ユウゴウ
注記 2012年刊の普及版
注記 文献: 各章末(第31章, 第32章には無し)
NCID BB28002091
本文言語 日本語
著者標目 益, 一哉||マス, カズヤ <AU00439456>
著者標目 年吉, 洋||トシヨシ, ヒロシ <AU00439457>
著者標目 町田, 克之
マチダ, カツユキ <>
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