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ULSIデバイス・プロセス技術 = Device and process technologies for ultra large scale integration

伊藤隆司編著 ; 電子情報通信学会編. -- 新版. -- 電子情報通信学会. <BW03701665>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田4F図書 624.9:522(2) 0073855405 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田4F図書
請求記号 624.9:522(2)
資料ID 0073855405
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 ULSIデバイス・プロセス技術 = Device and process technologies for ultra large scale integration / 伊藤隆司編著 ; 電子情報通信学会編
ULSI デバイス・プロセス ギジュツ
版次 新版
出版事項 東京 : 電子情報通信学会
出版事項 東京 : コロナ社 (発売) , 2013.5
形態 vii, 357p ; 22cm
巻号情報
ISBN 9784885522741
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ULSIデバイスプロセス技術
ULSI デバイス プロセス ギジュツ
注記 監修: 菅野卓雄
注記 各章末: 文献
NCID BB12373695
本文言語 日本語 英語
著者標目 伊藤, 隆司||イトウ, タカシ <AU00389207>
著者標目 電子情報通信学会||デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ <AU00050719>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ