関西学院大学図書館
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • 新着アラート

関西学院大学図書館

検索結果一覧へ戻る

EUV光源の開発と応用

豊田浩一, 岡崎信次監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2013.3. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 450 . エレクトロニクスシリーズ). <BW03690247>
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
このページのURL：

EUV光源の開発と応用

豊田浩一, 岡崎信次監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2013.3. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 450 . エレクトロニクスシリーズ). <BW03690247>
便利機能：
目次・あらすじを見る 詳細情報を見る
このページのURL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 624.9:1781 0073819161 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 624.9:1781
資料ID 0073819161
状態
返却予定日
予約 0件
このページのTOPへ
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 EUV光源の開発と応用 / 豊田浩一, 岡崎信次監修
EUV コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
版次 普及版
出版事項 東京 : シーエムシー出版 , 2013.3
形態 vi, 273p : 挿図 ; 26cm
シリーズ名等 CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BW03006314> 450 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ//aa
巻号情報
ISBN 9784781307091
その他の標題 標題紙タイトル:Development and application of extreme ultraviolet light source
注記 「EUV光源の開発と応用」(2007年刊)の普及版
注記 文献: 各章末
NCID BB12085089
本文言語 日本語
著者標目 豊田, 浩一||トヨダ, コウイチ <AU00387431>
著者標目 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00236154>
分類標目 電子工学 NDC8:549.95
分類標目 電子工学 NDC9:549.95
件名標目等 紫外線||シガイセン
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    他機関から取り寄せる※有料

    • 文献複写申込み(コピー取り寄せ)
    • 図書貸借申込み(現物取り寄せ)