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半導体プロセス・形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ

重里有三, 高木茂行共著. -- オーム社, 2012.10. <BW03666330>
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重里有三, 高木茂行共著. -- オーム社, 2012.10. <BW03666330>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 624.9:1757 0073747339 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 624.9:1757
資料ID 0073747339
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体プロセス・形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ / 重里有三, 高木茂行共著
ハンドウタイ プロセス ケイジョウ シミュレーション ギジュツ : カコウ セイド コウジョウ ノ ツボ
出版事項 東京 : オーム社 , 2012.10
形態 x, 220p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784274212741
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体プロセス形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ
ハンドウタイ プロセス ケイジョウ シミュレーション ギジュツ : カコウ セイド コウジョウ ノ ツボ
注記 参考文献: 各章末
NCID BB10806146
本文言語 日本語
著者標目 重里, 有三||シゲサト, ユウゾウ <AU00383371>
著者標目 高木, 茂行
タカギ, シゲユキ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 シミュレーション||シミュレーション
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