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半導体・MEMSのための超臨界流体

近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著. -- コロナ社, 2012.9. <BW03656863>
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近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著. -- コロナ社, 2012.9. <BW03656863>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 624.9:1747 0073707077 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 624.9:1747
資料ID 0073707077
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体・MEMSのための超臨界流体 / 近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著
ハンドウタイ MEMS ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
出版事項 東京 : コロナ社 , 2012.9
形態 vii, 227p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784339008371
その他の標題 奥付タイトル:Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体MEMSのための超臨海流体
ハンドウタイ メムス ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
注記 引用・参考文献: p[212]-222
注記 その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠
NCID BB10243699
本文言語 日本語
著者標目 近藤, 英一||コンドウ, エイイチ <AU00381695>
著者標目 上野, 和良
ウエノ, カズヨシ <>
著者標目 内田, 寛
ウチダ, ヒロシ <>
著者標目 曽根, 正人
ソネ, マサト <>
著者標目 生津, 英夫
ナマツ, ヒデオ <>
著者標目 服部, 毅
ハットリ, タケシ <>
著者標目 堀, 照夫
ホリ, テルオ <>
著者標目 森口, 誠
モリグチ, マコト <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 マイクロマシン||マイクロマシン
件名標目等 超臨界流体||チョウリンカイリュウタイ
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