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半導体・MEMSのための超臨界流体
近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著. -- コロナ社, 2012.9. <BW03656863>
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半導体・MEMSのための超臨界流体
近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著. -- コロナ社, 2012.9. <BW03656863>
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10件
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100件
No.
巻号
配架場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
三田4F図書
624.9:1747
0073707077
0件
No.
0001
巻号
配架場所
三田4F図書
請求記号
624.9:1747
資料ID
0073707077
状態
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
半導体・MEMSのための超臨界流体 / 近藤英一編著 ; 上野和良 [ほか] 著
ハンドウタイ MEMS ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
出版事項
東京 : コロナ社 , 2012.9
形態
vii, 227p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN
9784339008371
その他の標題
奥付タイトル:Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing
その他の標題
異なりアクセスタイトル:半導体MEMSのための超臨海流体
ハンドウタイ メムス ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
注記
引用・参考文献: p[212]-222
注記
その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠
NCID
BB10243699
本文言語
日本語
著者標目
近藤, 英一||コンドウ, エイイチ <AU00381695>
著者標目
上野, 和良
ウエノ, カズヨシ <>
著者標目
内田, 寛
ウチダ, ヒロシ <>
著者標目
曽根, 正人
ソネ, マサト <>
著者標目
生津, 英夫
ナマツ, ヒデオ <>
著者標目
服部, 毅
ハットリ, タケシ <>
著者標目
堀, 照夫
ホリ, テルオ <>
著者標目
森口, 誠
モリグチ, マコト <>
分類標目
電子工学 NDC8:549.8
分類標目
電子工学 NDC9:549.8
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
件名標目等
マイクロマシン||マイクロマシン
件名標目等
超臨界流体||チョウリンカイリュウタイ
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