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フィールドガイドオプティカルリソグラフィー

Chris A.Mack著 ; 木下博雄訳. -- オプトロニクス社, 2008.9. -- (SPIEフィールドガイド / John E.Greivenkamp, シリーズエディター). <BW03413499>
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フィールドガイドオプティカルリソグラフィー

Chris A.Mack著 ; 木下博雄訳. -- オプトロニクス社, 2008.9. -- (SPIEフィールドガイド / John E.Greivenkamp, シリーズエディター). <BW03413499>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 624.9:1489 0072948599 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 624.9:1489
資料ID 0072948599
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 フィールドガイドオプティカルリソグラフィー / Chris A.Mack著 ; 木下博雄訳
フィールド ガイド オプティカル リソグラフィー
出版事項 東京 : オプトロニクス社 , 2008.9
形態 xii, 133p ; 21cm
シリーズ名等 SPIEフィールドガイド / John E.Greivenkamp, シリーズエディター||SPIE フィールド ガイド <BW03412446>//a
巻号情報
ISBN 9784902312331
その他の標題 原タイトル:Field guide to optical lithography
その他の標題 異なりアクセスタイトル:オプティカルリソグラフィー
オプティカル リソグラフィー
注記 原著(Bellingham, Wash. : SPIE, c2006)の翻訳
NCID BA87772822
本文言語 日本語
著者標目 Mack, Chris A. <>
著者標目 木下, 博雄
キノシタ, ヒロオ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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