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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

小島啓安著. -- 日刊工業新聞社, 2008.8. <BW03406317>
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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

小島啓安著. -- 日刊工業新聞社, 2008.8. <BW03406317>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 624.9:1479 0072928088 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 624.9:1479
資料ID 0072928088
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス / 小島啓安著
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
出版事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2008.8
形態 ix, 384p ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784526061196
注記 参考文献:p372〜380
NCID BA87015099
本文言語 日本語
著者標目 小島, 啓安
コジマ,ヒロヤス <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
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