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電子線リソグラフィ教本
秋永広幸編. -- オーム社, 2007.6. <BW03336429>
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電子線リソグラフィ教本
秋永広幸編. -- オーム社, 2007.6. <BW03336429>
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所蔵一覧
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10件
20件
50件
100件
No.
巻号
配架場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
三田4F図書
624.9:1407
0072725617
0件
No.
0001
巻号
配架場所
三田4F図書
請求記号
624.9:1407
資料ID
0072725617
状態
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編
デンシセン リソグラフィ キョウホン
出版事項
東京 : オーム社 , 2007.6
形態
xiii, 210p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN
9784274204159
その他の標題
標題紙タイトル:Electron beam lithography
注記
監修: 横山浩
注記
参考文献: p201-203
NCID
BA82476094
本文言語
日本語
著者標目
秋永, 広幸
アキナガ, ヒロユキ <>
著者標目
横山, 浩||ヨコヤマ, ヒロシ <AU00320460>
分類標目
電子工学 NDC8:549.7
分類標目
電子工学 NDC9:549.7
件名標目等
リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等
電子線||デンシセン
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