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図解でわかる半導体製造装置

菊地正典監修. -- 日本実業出版社, 2007.4. <BW03328290>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田4F図書 624.9:1398 0072693385 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田4F図書
請求記号 624.9:1398
資料ID 0072693385
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 図解でわかる半導体製造装置 / 菊地正典監修
ズカイ デ ワカル ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
出版事項 東京 : 日本実業出版社 , 2007.4
形態 182p ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784534042170
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体製造装置 : 図解でわかる
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ : ズカイ デ ワカル
NCID BA8177037X
本文言語 日本語
著者標目 菊地, 正典(1944-)||キクチ, マサノリ <AU00287756>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ