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製造プロセス編

角南英夫著. -- コロナ社, 2006.8. -- (電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学). <BW03329904>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田4F図書 624.6:1128-4:27 0025575499 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田4F図書
請求記号 624.6:1128-4:27
資料ID 0025575499
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 製造プロセス編 / 角南英夫著
セイゾウ プロセスヘン
出版事項 東京 : コロナ社 , 2006.8
形態 xii, 189p ; 26cm
シリーズ名等 電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編||デンシ ジョウホウ ツウシン レクチャー シリーズ <BW03017957> D-27 . VLSI工学||VLSI コウガク//a
巻号情報
ISBN 4339018872
その他の標題 奥付タイトル:VLSI technology : fabrication processes
注記 引用・参考文献: p[177]-186
NCID BA81206403
本文言語 日本語
著者標目 電子情報通信学会||デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ <AU00050719>
著者標目 角南, 英夫||スナミ, ヒデオ <AU00298595>
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ