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プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

市村博司, 池永勝著. -- 日刊工業新聞社, 2005.2. <BW03205711>
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プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

市村博司, 池永勝著. -- 日刊工業新聞社, 2005.2. <BW03205711>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 624.9:1248 0072320104 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 624.9:1248
資料ID 0072320104
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用 / 市村博司, 池永勝著
プラズマプロセス ニヨル ウスマク ノ キソ ト オウヨウ
出版事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2005.2
形態 ix, 276p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526054208
その他の標題 標題紙タイトル:Thin Films
NCID BA71274597
本文言語 日本語
著者標目 市村, 博司
イチムラ, ヒロシ <>
著者標目 池永, 勝||イケナガ, マサル <AU00234851>
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