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はじめての半導体ナノプロセス

前田和夫著. -- 工業調査会, 2004.2. -- (ビギナーズブックス ; 32). <BW03142771>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田4F図書 624.9:1189 0072120397 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田4F図書
請求記号 624.9:1189
資料ID 0072120397
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体ナノプロセス / 前田和夫著
ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス
出版事項 東京 : 工業調査会 , 2004.2
形態 239p ; 21cm
シリーズ名等 ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <BW03014653> 32//a
巻号情報
ISBN 4769312253
注記 各章末: 参考文献
NCID BA6581000X
本文言語 日本語
著者標目 前田, 和夫(1935-)||マエダ, カズオ <AU00249925>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 ナノテクノロジー||ナノテクノロジー