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マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術

吉村長光著. -- エヌ・ティー・エス, 2003.12. <BW03135905>
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マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術

吉村長光著. -- エヌ・ティー・エス, 2003.12. <BW03135905>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 624.9:1184 0072105547 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 624.9:1184
資料ID 0072105547
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著
マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ
出版事項 東京 : エヌ・ティー・エス , 2003.12
形態 6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 4860430395
注記 著者の読みは推定
注記 参考・引用文献: 各章末
NCID BA6508397X
本文言語 日本語
著者標目 吉村, 長光
ヨシムラ, ナガミツ <>
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