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シリコンマイクロ加工の基礎

M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳. -- シュプリンガー・フェアラーク東京, 2001.12. <BW03032283>
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シリコンマイクロ加工の基礎

M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳. -- シュプリンガー・フェアラーク東京, 2001.12. <BW03032283>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ図書 624.9:1061 0071779839 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 624.9:1061
資料ID 0071779839
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 シリコンマイクロ加工の基礎 / M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳
シリコン マイクロ カコウ ノ キソ
出版事項 東京 : シュプリンガー・フェアラーク東京 , 2001.12
形態 xi, 431p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4431709347
その他の標題 原タイトル:Silicon micromachining
注記 “Silicon micromachining"の翻訳
注記 参考文献: 各章末
NCID BA54870462
本文言語 日本語
著者標目 *Elwenspoek, M. (Miko), 1948- <AU00209384>
著者標目 Jansen, H. V. (Henri V.) <AU00209385>
著者標目 田畑, 修
タバタ, オサム <>
著者標目 佐藤, 一雄(1948-)||サトウ, カズオ <AU00209386>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 シリコン(半導体)||シリコン(ハンドウタイ)
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