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自己組織化プロセス技術

村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編. -- 培風館, 1999.7. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 20). <BW03535246>
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自己組織化プロセス技術

村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編. -- 培風館, 1999.7. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 20). <BW03535246>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田４Ｆ集密図書 624.9:495:1-20 0025304171 0件
0002 三田４Ｆ集密図書 624.9:495:1-20 0029534617 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田４Ｆ集密図書
請求記号 624.9:495:1-20
資料ID 0025304171
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
配架場所 三田４Ｆ集密図書
請求記号 624.9:495:1-20
資料ID 0029534617
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 自己組織化プロセス技術 / 村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編
ジコ ソシキカ プロセス ギジュツ
出版事項 東京 : 培風館 , 1999.7
形態 x, 307p ; 22cm
シリーズ名等 アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <BW02010038> カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 20//aa
巻号情報
ISBN 456303620X
注記 参考文献: 各章末
NCID BA4214337X
本文言語 日本語
著者標目 村田, 好正(1935-)||ムラタ, ヨシタダ <AU00118962>
著者標目 尾関, 雅志||オゼキ, マサシ <AU00362096>
著者標目 野崎, 眞次||ノザキ, シンジ <AU00362097>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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