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半導体プロセス技術

丹呉浩侑編. -- 培風館, 1998.11. -- (半導体工学シリーズ / 西澤潤一編 ; 9). <BW03673145>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 上ケ原2F図書 624.9:755 0071073183 0件
0002 三田4F図書 624.9:755 0029018900 0件
No. 0001
巻号
配架場所 上ケ原2F図書
請求記号 624.9:755
資料ID 0071073183
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
配架場所 三田4F図書
請求記号 624.9:755
資料ID 0029018900
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体プロセス技術 / 丹呉浩侑編
ハンドウタイ プロセス ギジュツ
出版事項 東京 : 培風館 , 1998.11
形態 vii, 325p ; 22cm
シリーズ名等 半導体工学シリーズ / 西澤潤一編||ハンドウタイ コウガク シリーズ <BW03193756> 9//a
巻号情報
ISBN 4563032980
注記 参考文献: 各章末
NCID BA38779767
本文言語 日本語
著者標目 丹呉, 浩侑||タンゴ, ヒロユキ <AU00384534>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ