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Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography

edited by R. Behrisch ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.]. -- : Ger, : U.S. -- Springer-Verlag, 1983. -- (Topics in applied physics ; v. 52 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 2). <BY00098620>
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Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography

edited by R. Behrisch ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.]. -- : Ger, : U.S. -- Springer-Verlag, 1983. -- (Topics in applied physics ; v. 52 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 2). <BY00098620>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 : U.S 三田４Ｆ図書 530.4:S77:2 0096181391 0件
No. 0001
巻号 : U.S
配架場所 三田４Ｆ図書
請求記号 530.4:S77:2
資料ID 0096181391
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography / edited by R. Behrisch ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.]
出版事項 Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , 1983
形態 xii, 391 p. : ill. ; 24 cm
シリーズ名等 Topics in applied physics <BY02001505> v. 52 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 2//ab
巻号情報
巻次等 : Ger
ISBN 3540125930
巻号情報
巻次等 : U.S
ISBN 0387125930
注記 Includes bibliographical references and indexes
NCID BA00899846
本文言語 英語
著者標目 Behrisch, Rainer <AU00329279>
分類標目 LCC:QC176.8.S72
分類標目 DC19:530.4/1
件名標目等 Sputtering (Physics)
件名標目等 Solids -- Effect of radiation on
件名標目等 Surfaces (Physics) -- Effect of radiation on
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