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Ion implantation

Heiner Ryssel and Ingolf Ruge. -- Wiley, c1986. <BY00106311>
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No. 巻号 配架場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 三田4F集密図書 624.9:R99 0096713938 0件
No. 0001
巻号
配架場所 三田4F集密図書
請求記号 624.9:R99
資料ID 0096713938
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 Ion implantation / Heiner Ryssel and Ingolf Ruge
出版事項 Chichester [West Sussex] ; New York : Wiley , c1986
形態 xvii, 459 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 047110311X
その他の標題 原タイトル:Ionenimplantation
注記 Translation of: Ionenimplantation
注記 Includes index
NCID BA00364146
本文言語 英語
著者標目 *Ryssel, Heiner, 1941- <AU00330943>
著者標目 Ruge, Ingolf <AU00330944>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC19:621.3815/2
件名標目等 Ion implantation
件名標目等 Semiconductors