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Journal of vacuum science and technology

American Vacuum Society. -- Vol. 1, no. 1 (1964)-v. 21, no. 4 (1982). -- American Institute of Physics. <SY00002961>
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No. 配架場所 新着配架場所 巻号 年月次 購読状況 アラート
0001 上ケ原ＢＭ雑誌 6-10 1969-1973
No. 0001
配架場所 上ケ原ＢＭ雑誌
新着配架場所
巻号 6-10
年月次 1969-1973
購読状況
アラート
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書誌詳細

標題および責任表示 Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society
巻次・年月次 Vol. 1, no. 1 (1964)-v. 21, no. 4 (1982)
出版事項 New York : American Institute of Physics
NCID AA00708677
本文言語 英語
ISSN 00225355
書誌変遷リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society <SY00005742>
書誌変遷リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. 2nd series. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society <SY00003912>
著者標目リンク American Vacuum Society <AU00094825>
件名標目等 Vacuum technology -- Periodicals
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